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標準簡介：本標準規(guī)定了使用原子力顯微鏡(AFM)測量表面粗糙度的方法。本標準適用于測量濺射成膜方法生成的、平均粗糙度Ra 小于100nm 的薄膜。其他非濺射薄膜的表面粗糙度的測量可以參考此方法。
標準號：GB/T 31227-2014
標準名稱：原子力顯微鏡測量濺射薄膜表面粗糙度的方法
英文名稱：Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
發(fā)布日期：2014-09-30
實施日期：2015-04-15
中國標準分類號（CCS）：機械>>機械綜合>>J04基礎(chǔ)標準與通用方法
國際標準分類號（ICS）：計量學和測量、物理現(xiàn)象>>長度和角度測量>>17.040.20表面特征
起草單位：上海交通大學、納米技術(shù)及應(yīng)用國家工程研究中心
歸口單位：全國納米技術(shù)標準化技術(shù)委員會(SAC/TC279)
發(fā)布單位：國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫.
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